在高純氣體中，雜質(zhì)水常用露點(diǎn)表示。露點(diǎn)是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時(shí)的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測(cè)氣體中的水蒸氣開(kāi)始出現(xiàn)露或霜，測(cè)量此時(shí)的溫度，即為該氣體的露（霜）點(diǎn)。測(cè)量其露點(diǎn)溫度便可知?dú)怏w濕度值。 露點(diǎn)儀是采用此方法設(shè)計(jì)的濕度計(jì)，具有準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍寬的特點(diǎn)。高精密露點(diǎn)儀是目前普遍采用的一種標(biāo)準(zhǔn)儀器。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——電解法 就是將干燥劑吸收的水分經(jīng)電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過(guò)檢測(cè)該電流即可測(cè)得樣氣的濕度。該方法彌補(bǔ)了重量法的缺點(diǎn)，測(cè)量量程可達(dá)-80℃以下，且精度較好，價(jià)格便宜;缺點(diǎn)是電解池氣路需要在使用前干燥很長(zhǎng)時(shí)間，且對(duì)氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——冷鏡法 也是一種經(jīng)典的測(cè)量方法。讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過(guò)等壓制冷，使得樣氣達(dá)到飽和結(jié)露狀態(tài)(冷凝鏡上有液滴析出)，測(cè)量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測(cè)技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃;缺點(diǎn)是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達(dá)幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對(duì)樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(huì)影響光電檢測(cè)效果或產(chǎn)生'偽結(jié)露'造成測(cè)量誤差。