氣體動(dòng)態(tài)配比系統(tǒng)主要用于6路氣體的比例混合,設(shè)備可以直接更改使用氣體的介質(zhì)以及量程,氣體濃度可以比例的調(diào)節(jié)與放大配比范圍。首先整個(gè)設(shè)備系統(tǒng)管路可以在線抽真空,混合后的氣體直接輸入到后端的氣體濃度分析儀設(shè)備中進(jìn)行濃度分析,分析后的氣體可以通過前端的設(shè)置做閉環(huán)控制程序,進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)?;旌虾蟮臍怏w后端可以進(jìn)行流速調(diào)節(jié),還可以同時(shí)控制氣體的濕度和溫度。


1、準(zhǔn)確度高、響應(yīng)時(shí)間快 2、濃度分析準(zhǔn),PID自動(dòng)調(diào)節(jié) 3、功能齊全,操作方便

