傳感器早已滲透到諸如工業(yè)生產(chǎn)、宇宙開發(fā)、海洋探測、環(huán)境保護(hù)、資源調(diào)查、醫(yī)學(xué)診斷、生物工程、甚至文物保護(hù)等等極其之泛的領(lǐng)域,可以毫不夸張地說,從茫茫的太空,到浩瀚的海洋,以至各種復(fù)雜的工程系統(tǒng),幾乎每一個現(xiàn)代化項(xiàng)目,都離不開各種各樣的傳感器,國標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87對傳感器下的定義是:“能感受規(guī)定的被測量件并按照一定的規(guī)律(數(shù)學(xué)函數(shù)法則)轉(zhuǎn)換成可用信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”。
壓力是消費(fèi)過程和航天、航空、國防工業(yè)中的重要過程參數(shù),不只需求對它停止快速動態(tài)丈量,而且還要將丈量結(jié)果作數(shù)字化顯現(xiàn)和記載,大型煉油廠、化工廠、、發(fā)電廠和鋼鐵廠等的自動化還需求將壓力參數(shù)遠(yuǎn)間隔傳送,并請求把壓力和其他參數(shù),如溫度、流量、粘度等一同轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號送入計(jì)算機(jī),在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動化生產(chǎn)過程中,要用各種傳感器來監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個參數(shù),使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或zui佳狀態(tài),并使產(chǎn)品達(dá)到zui好的質(zhì)量。
微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的,已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器,人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息,必須借助于感覺器官,而單靠人們自身的感覺器官,在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了,工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的傳感器,如工藝控制、工業(yè)機(jī)械以及傳統(tǒng)的;各種測量工藝變量(如溫度、液位、壓力、流量等)的;測量電子特性(電流、電壓等)和物理量(運(yùn)動、速度、負(fù)載以及強(qiáng)度)的,以及傳統(tǒng)的接近/定位傳感器發(fā)展迅速。