由此可見(jiàn),傳感器技術(shù)在發(fā)展經(jīng)濟(jì)、推動(dòng)社會(huì)進(jìn)步方面的重要作用,是十分明顯的,世界各國(guó)都十分重視這一領(lǐng)域的發(fā)展,相信不久的將來(lái),傳感器技術(shù)將會(huì)出現(xiàn)一個(gè)飛躍,達(dá)到與其重要地位相稱(chēng)的新水平,壓力丈量?jī)x表中的電測(cè)式儀表稱(chēng)為壓力傳感器,國(guó)際電工委員會(huì)(IEC:InternationalElectrotechnicalCommittee)的定義為:“傳感器是測(cè)量系統(tǒng)中的一種前置部件,它將輸入變量轉(zhuǎn)換成可供測(cè)量的信號(hào)”。
壓力是消費(fèi)過(guò)程和航天、航空、國(guó)防工業(yè)中的重要過(guò)程參數(shù),不只需求對(duì)它停止快速動(dòng)態(tài)丈量,而且還要將丈量結(jié)果作數(shù)字化顯現(xiàn)和記載,大型煉油廠(chǎng)、化工廠(chǎng)、、發(fā)電廠(chǎng)和鋼鐵廠(chǎng)等的自動(dòng)化還需求將壓力參數(shù)遠(yuǎn)間隔傳送,并請(qǐng)求把壓力和其他參數(shù),如溫度、流量、粘度等一同轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)送入計(jì)算機(jī),在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,要用各種傳感器來(lái)監(jiān)視和控制生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù),使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或zui佳狀態(tài),并使產(chǎn)品達(dá)到zui好的質(zhì)量。
微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的,已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器,人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息,必須借助于感覺(jué)器官,而單靠人們自身的感覺(jué)器官,在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了,工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的傳感器,如工藝控制、工業(yè)機(jī)械以及傳統(tǒng)的;各種測(cè)量工藝變量(如溫度、液位、壓力、流量等)的;測(cè)量電子特性(電流、電壓等)和物理量(運(yùn)動(dòng)、速度、負(fù)載以及強(qiáng)度)的,以及傳統(tǒng)的接近/定位傳感器發(fā)展迅速。