壓力傳感器普遍由彈性敏感元件和位移敏感元件組成,彈性敏感元件的作用是使被測(cè)壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變,然后由位移敏感元件或應(yīng)變計(jì)轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號(hào),有時(shí)把這兩種元件的功用集于一體,如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器,傳感器的特點(diǎn)包括:微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化,它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造和更新?lián)Q代,而且還可能建立新型工業(yè),從而成為21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
壓力是消費(fèi)過(guò)程和航天、航空、國(guó)防工業(yè)中的重要過(guò)程參數(shù),不只需求對(duì)它停止快速動(dòng)態(tài)丈量,而且還要將丈量結(jié)果作數(shù)字化顯現(xiàn)和記載,大型煉油廠、化工廠、、發(fā)電廠和鋼鐵廠等的自動(dòng)化還需求將壓力參數(shù)遠(yuǎn)間隔傳送,并請(qǐng)求把壓力和其他參數(shù),如溫度、流量、粘度等一同轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)送入計(jì)算機(jī),在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,要用各種傳感器來(lái)監(jiān)視和控制生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù),使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或zui佳狀態(tài),并使產(chǎn)品達(dá)到zui好的質(zhì)量。
微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的,已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器,人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息,必須借助于感覺(jué)器官,而單靠人們自身的感覺(jué)器官,在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了,工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的傳感器,如工藝控制、工業(yè)機(jī)械以及傳統(tǒng)的;各種測(cè)量工藝變量(如溫度、液位、壓力、流量等)的;測(cè)量電子特性(電流、電壓等)和物理量(運(yùn)動(dòng)、速度、負(fù)載以及強(qiáng)度)的,以及傳統(tǒng)的接近/定位傳感器發(fā)展迅速。