超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么，在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時，假如在各種工藝前后留下一個小顆粒，則會導(dǎo)致差錯。因而，在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。

　超純水是為了研制超純資料(半導(dǎo)體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當(dāng)?shù)某R界精密技能出產(chǎn)出來的水，不宜飲用。 　　這樣的水是一般工藝很難到達的程度，應(yīng)該運用超純水設(shè)備進行制備。專業(yè)的超純水設(shè)備由預(yù)處理(多介質(zhì)過濾+超濾設(shè)備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成，保證出水水質(zhì)滿足18.2MΩ·cm電子級水產(chǎn)水指標(biāo)。

超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)簡直徹底去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外，簡直沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是簡直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm，或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。