超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過(guò)程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開(kāi)展,對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求?,F(xiàn)在,我國(guó)常用的超純水規(guī)范有國(guó)家規(guī)范《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過(guò)程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過(guò)量會(huì)使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會(huì)進(jìn)步半導(dǎo)體的性能。
集裝箱式海水淡化設(shè)備的優(yōu)勢(shì)怎么? 1、集裝箱式海水淡化設(shè)備選用反滲透別離技能進(jìn)行海水淡化脫鹽,工藝流程和操作參數(shù)經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行優(yōu)化規(guī)劃。 2、海水淡化脫鹽工藝無(wú)需海水加溫,運(yùn)轉(zhuǎn)于常溫下,無(wú)相變現(xiàn)象,因而能耗低,制水成本低。 3、規(guī)劃時(shí)充分考慮船舶的特殊性,體積小,重量輕,占用省、安裝便利、適應(yīng)性強(qiáng),可在狹小的艙室內(nèi)安裝。機(jī)架管路、管件選用316不銹鋼及耐蝕資料制作。 4、集裝箱式海水淡化設(shè)備操作簡(jiǎn)略,修理便利,只需有電、有海水,啟動(dòng)后就能立即供給淡水。