超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過(guò)程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水確實(shí)能喝,但是沒(méi)有營(yíng)養(yǎng)價(jià)值,喝多了會(huì)對(duì)人體不利。咱們平常喝的純凈水,去除水中雜質(zhì)和病毒細(xì)菌后,水中還含有豐富的微量元素和礦物質(zhì)。超純水是除掉氧原子和氫原子外,沒(méi)有任何原子存在的水。假如咱們喝下去的話,不只不會(huì)帶來(lái)人體所需求的微量元素,反倒會(huì)帶走咱們身上的微量元素。 不是真的那就是幻覺(jué)嘍! 很多人認(rèn)為超純水只是比普通的飲用水電導(dǎo)率更高,其他沒(méi)什么區(qū)別。其實(shí)咱們平常喝的水在水處理范疇被稱為純水,一般是自來(lái)水加上反滲透膜過(guò)濾提純,而超純水還選用了離子交換。
半導(dǎo)體職業(yè)是一個(gè)高能耗的職業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制作過(guò)程中,由于出產(chǎn)設(shè)備的精密性和出產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)超純水體系的運(yùn)用要求更高。 在半導(dǎo)體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入硅片,如帶入過(guò)量的雜質(zhì),就會(huì)導(dǎo)致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。