半導(dǎo)體職業(yè)是一個(gè)高能耗的職業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制作過(guò)程中,由于出產(chǎn)設(shè)備的精密性和出產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)超純水體系的運(yùn)用要求更高。 在半導(dǎo)體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入硅片,如帶入過(guò)量的雜質(zhì),就會(huì)導(dǎo)致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。
超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)簡(jiǎn)直徹底去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外,簡(jiǎn)直沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是簡(jiǎn)直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。
半導(dǎo)體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場(chǎng)變化大,其出產(chǎn)能力具有波動(dòng)性。所以,要求與之配套的半導(dǎo)體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量,對(duì)超純水設(shè)備供水的靈活性,安全性,及時(shí)性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水體系投入運(yùn)轉(zhuǎn)后,可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導(dǎo)體用水供給用水保障。