今后,廢水處理技能水平將不斷進步,在出水水質(zhì)、出資成本、運轉辦理、適用性等方面將有更多優(yōu)勢,在污水再生回用方面具有更多的運用空間。 半導體的出產(chǎn)需求經(jīng)過8個首要工序。超純水首要用于半導體制作中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切開晶圓并用超純水清洗剩余碎片?;蛟S,在離子注入過程之后,清潔剩余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切開。
跟著半導體工業(yè)的不斷開展,對清潔水的電導率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴厲。由于超純水在許多指標上對半導體的要求很高,因而半導體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導體職業(yè)對超純水有極其嚴厲的水質(zhì)要求?,F(xiàn)在,我國常用的超純水規(guī)范有國家規(guī)范《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標。 在半導體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉,然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應充分考慮硼的去除。硼離美標中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達較低的指標,則必然會進步半導體的性能。
超純水處理是一般工藝很難到達的程度,萊特萊德選用預處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級處理四大步驟,獨有的靶向離子交換體系針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。