在干凈無(wú)塵車間設(shè)計(jì)的應(yīng)用中,除了依據(jù)清潔度請(qǐng)求控制和凈化不同粒徑的塵粒外,菌落控制也是環(huán)境控制點(diǎn)之一,在微電子、光學(xué)、機(jī)械、儀器、生物醫(yī)藥,精密化工、食品飲料,涂布新資料等這些工業(yè)應(yīng)用的干凈無(wú)塵車間或?qū)嶒?yàn)室對(duì)菌落也有嚴(yán)厲的請(qǐng)求和規(guī)范。 在我們的日常生活中,菌落特別容易產(chǎn)生,很常見(jiàn)。依據(jù)文獻(xiàn)和實(shí)證測(cè)試研討,干凈無(wú)塵車間霉菌的構(gòu)成,普通需求相應(yīng)的濕度條件。干凈無(wú)塵車間設(shè)計(jì)能夠控制消費(fèi)環(huán)境,使溫濕度滿足消費(fèi)請(qǐng)求,防止運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)分產(chǎn)生一系統(tǒng)問(wèn)題。通常,東鑫凈化工程設(shè)計(jì)裝修的GMP干凈無(wú)塵車間,普通較大濕度控制在70%以下,濕度設(shè)置的戒備線通常為60%。假如環(huán)境里,每天超越3小時(shí)的外表濕度到達(dá)60%-100%時(shí),就有霉菌的風(fēng)險(xiǎn)。假如干凈無(wú)塵車間的外表濕度到達(dá)80%,每天超越12小時(shí),持續(xù)3天,那么霉菌就可能到來(lái)。 目前,一些工程公司采用手動(dòng)形式,來(lái)干凈無(wú)塵車間設(shè)計(jì)控制風(fēng)量微風(fēng)壓的調(diào)理溫濕度,但由于控制風(fēng)量微風(fēng)壓的控制閥在技藝艙內(nèi),天花板也是彩鋼的軟屋頂,根本上功用是裝置和調(diào)試的。調(diào)整好后大局部未調(diào)整,實(shí)踐操作起來(lái)也特別費(fèi)事無(wú)法調(diào)整。為了使干凈無(wú)塵車間干凈室的正常消費(fèi)和工作,
干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來(lái)肯定,但在滿足工藝請(qǐng)求的條件下,應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列,但作為總的準(zhǔn)繩看,由于加工精度越來(lái)越精密,所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來(lái)越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超越25度,濕渡過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將經(jīng)過(guò)空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。
這里有必要先闡明一下無(wú)窗干凈室的照明方式: (1)普通照明它指不思索特殊的部分需求,為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)部分照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由普通不單獨(dú)運(yùn)用部分照明。 (3)混合照明這是指工作面上的照度由普通照明和部分照明合成的照明,其中普通照明的照度按《干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上承受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國(guó)外干凈室的強(qiáng)度請(qǐng)求極高,例如美國(guó)關(guān)于干凈室的幾個(gè)規(guī)范的請(qǐng)求是. 人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精密水平更高時(shí),500x也是允許的。關(guān)于要紅燈照明的中央,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度普通為(25—501x),用自然光時(shí)可允許更高的照度,因此對(duì)工作是有利的,所以今后干凈室的照明既采用人工光也采用自然光可能是有出路的,這也是為了節(jié)能而呈現(xiàn)的一種意向。 4、防靜電干凈室中由于靜電惹起的的事故屢有發(fā)作,因而干凈室的防靜電才能如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可無(wú)視的方面。