依據(jù)河南實驗室的標準請求和運用要特性，納科建設(shè)請求河南實驗室凈化工程與普通凈化工程不同。具有高安 全性、專注化、完好性、模塊化等特性。而且實驗室凈化工程對科學(xué)研討的建立意義嚴重，關(guān)乎實驗結(jié)果的精確性，河南實驗室凈化工程室內(nèi)環(huán)境的程度成為企業(yè)急需求思索的問題，權(quán)衡規(guī)范。1、專注化：東鑫凈化統(tǒng)一管理，河南實驗室凈化工程從前期規(guī)劃用地、中期設(shè)計施工、后期調(diào)試運營開端，終身維護效勞、專注化實驗室凈化工程設(shè)計和施工的專家效勞、經(jīng)歷豐厚的項目經(jīng)理、規(guī)范化流程、大范圍運營等，充沛感遭到作為?？萍夹g(shù)公司的一向質(zhì)量和系統(tǒng)配置、整體施行、專家效勞的共同優(yōu)勢。運用戶的凈化實驗室可以在建筑裝飾、電氣設(shè)備、消防安 全等方面，到達有關(guān)計算機房的國度標準規(guī)范。2、高規(guī)范化：統(tǒng)一諧和各設(shè)備供給商、工程承包商和效勞供給商，將整個河南實驗室凈化工程建立過程中，觸及的多個環(huán)節(jié)和協(xié)作同伴融為一體。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請求來肯定，但在滿足工藝請求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進步，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴的趨向。詳細工藝對溫度的請求以后還要羅列，但作為總的準繩看，由于加工精度越來越精密，所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)作在精細安裝或電路中，就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費最佳濕度范圍為35—45%。

實驗室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴大比擬容易，在某些特殊用處場所，可并用無塵工作臺，進步干凈室等級。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之干凈度，常常須耗時相當長一段時間