干凈無塵車間設(shè)計工程自身便具有高新技術(shù)、技術(shù)密集和資金密集的特性，為了進(jìn)步干凈無塵車間工程建成后的技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益，在停止干凈無塵車間設(shè)計工程時，干凈無塵車間公司應(yīng)設(shè)法盡可能地設(shè)計一定的活靈性、寬放量，以便使建成后的干凈無塵車間工程。能隨著科學(xué)技術(shù)的開展，企業(yè)后續(xù)更便當(dāng)?shù)赝Ｖ辜夹g(shù)改造，順應(yīng)產(chǎn)品換代或設(shè)備更新的請求。 干凈無塵車間設(shè)計工程是各專科技術(shù)設(shè)計的綜合，特別是干凈無塵車間工程的工藝設(shè)計、空氣凈化設(shè)計和各種特殊請求的設(shè)計技術(shù)的親密協(xié)同、互相透滲和合理布置的綜合設(shè)計。模塊式干凈無塵車間工程、隔離安裝及微環(huán)境的不時研討、應(yīng)用，并被普遍平常采用，便是一種可以順應(yīng)時期的技術(shù)開展、靈敏及有綜合經(jīng)濟(jì)性的干凈無塵車間設(shè)計工程廠房設(shè)計處理計劃。 干凈無塵車間設(shè)計工程應(yīng)做到順應(yīng)工藝(或運(yùn)用)流程、合理選擇各類設(shè)備和安裝、盡力完成人流和物流的順暢短捷、氣流流型選樣得當(dāng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)配置合理、各種特殊請求的技術(shù)措施得當(dāng)，干凈廠房的平面、空間布置合理，完成牢靠經(jīng)濟(jì)運(yùn)轉(zhuǎn)的干凈廠房設(shè)備。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請求來肯定，但在滿足工藝請求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對溫度的請求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場所，可并用無塵工作臺，進(jìn)步干凈室等級。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時相當(dāng)長一段時間